파크시스템스, 하반기 ‘SK하이닉스’ 반도체 공정 모니터링 원자현미경 납품 전망

파크시스템스가 올해 하반기 SK하이닉스를 대상으로 원자현미경을 납품할 전망이다

6일 회사와 IT업계에 따르면 파크시스템스는 SK하이닉스와 올해 하반기 중으로 반도체 제조 공정 모니터링 용 원자현미경을 납품하는 계약을 진행할 예정이다.

회사 관계자는 “제품 테스트는 마친 상황”이라며 “하반기 양산 납품 여부는 언급할 수 없지만 테스트 결과는 잘 나온 것으로 알고 있다”고 설명했다.

테스트 기간은 1년 가량 진행됐다. 파크시스템스와 SK하이닉스는 2019년 5월 20일 산업용 원자현미경(NX-Wafer) 제품에 관한 장비평가계약을 체결하고 2019년 5월 28일 해당 제품을 납품했다. 일각에선 상반기 중으로 양산 납품 계약을 예상했으나 코로나19·반도체 가격 하락 우려 등으로 SK하이닉스의 설비 투자가 보수적으로 유지됐고, 양산 납품 또한 예상보단 늦어진 상황이다.

회사 안팎에선 SK하이닉스로 납품을 기정사실로 하고 있다. 파크시스템스의 산업용 원자현미경이 앞서 삼성전자 반도체 설비에 투입된 바 있는 만큼 기술적인 신뢰도는 높다는 판단이다. 산업용 원자현미경 시장 성장성도 양호하다. 원자현미경 시장 규모는 현재 연간 4000억 원 안팎으로 추정되고 있으나, 향후 산업용 원자현미경 시장의 확대를 포함해 2020년까지 약 5000억 원 시장으로 성장할 것으로 기대하고 있다.

한편 반도체 시장에서 사용되는 자동화 원자현미경은 기존의 표면 거칠기(Surface roughness, 가공물의 표면에 나 있는 규칙적이거나 불규칙한 요철) 분석을 해준다. 또 다른 기능은 CMP(반도체 표면을 화학적·기계적 방법으로 평탄화하는 작업) 공정으로 인한 파인부분(dishing)과 침식(erosion)의 정밀한 측정과 웨이퍼(Wafer) 전체 영역에서의 균일도도 확인해주는 것이다.