티로보틱스, 반도체용 로봇공급으로 성장 동력 확보

입력 2021-12-02 14:33

안경무 기자 noglasses@etoday.co.kr

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(티로보틱스 홈페이지)

OLED 및 반도체용 진공로봇 전문 생산업체인 티로보틱스가 반도체용 로봇 공급을 통해 성장 동력 확보에 주력하겠다고 2일 밝혔다.

최근 반도체 장비 관련 업계 관심이 커지고 있다. 삼성전자가 미국 반도체 2공장 투자를 위해 20조 원을 투입하기로 하는 등 주요 반도체 파운더리 기업의 투자 소식이 이어지고 있어서다.

티로보틱스는 이날 “그간 반도체공정용 로봇과 시스템에 대해 고객사와 테스트 작업을 이어왔다"면서 "최근 일부 로봇에 대해 ODM(제조자 개발생산 방식) 방식으로 공급하기로 했다”고 밝혔다.

이어 “내년부터는 현재 테스트 중인 로봇과 시스템이 본격적으로 공급될 것”이라며 “이번에 공급이 이뤄진 로봇은 반도체 생산 공정 중 전공정에 투입되는 로봇”이라고 설명했다.

반도체 생산 공정은 크게 전공정과 후공정으로 나뉜다. 전공정은 반도체 웨이퍼를 생산하고 웨이퍼 위에 회로를 만드는 과정이고, 후공정은 테스트하고 웨이퍼 위에 만들어진 회로를 자르고 패키징해 최종 상품으로 만드는 과정을 말한다.

티로보틱스의 경우 그간 OLED 진공로봇이 매출의 주를 이뤄왔으나, 지난해부터 반도체 분야의 로봇과 장비를 개발하면서 매출 다각화를 시도하고 있다. 지난해 12월엔 경기도 오산 가장동에 위치한 제2공장에 300억 원 CAPA의 반도체공정용 로봇과 시스템 생산 시설을 완공했다. OLED 진공로봇이나 시스템 부분의 경우엔 이미 2500억 원 CAPA를 갖추고 있다는 게 회사 설명이다.