삼성전자는 27일 진행된 2021년 실적 발표에서 반도체 시설투자에 대해 "지난해 반도체 시설투자는 2020년보다 증가했고, D램과 낸드 모두 설비투자 비중이 좀 높은 편이었다"며 "연초 전망 상회하는 수요 증가에 대응하려고 증설했고 기술 변곡점을 맞이하며 EUV 등 고가 차세대 기술에 대한 선제적 투자 집행된 것이 주요 원인"이라고 밝혔다.
올해 투자 계획에 대해선 "다양한 불확실성 존재하고 있어 구체적인 투자 계획은 지속 논의할 것"이라며 "부품 공급망 이슈가 있는데, 설비 반입시점이 기존보다 길어지는 추세가 있어 이 부분 고려해서 투자계획 수립하고 집행할 예정"이라고 덧붙였다.