와이씨켐, 반도체 EUV 핵심 소재 2종 양산 테스트 완료…상업생산 개시

입력 2024-03-27 13:45

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와이씨켐이 초미세 반도체 공정의 차세대 핵심소재로 개발한 극자외선(EUV) 광원용 소재 2종이 본격적인 상업생산에 들어간다고 28일 밝혔다. 와이씨켐이 양산 공급하는 소재는 메탈 옥사이드 레지스트(MOR) 포토레지스트 전용 신너(Thinner)와 디벨로퍼(Developer)로 최근 국내 고객사의 양산 평가를 통과해 4월부터 본격적인 공급이 시작된다.

EUV MOR는 기존에 사용되는 유기 타입 EUV 포토레지스트를 대체할 무기 타입 포토레지스트로 차세대 공정용 소재이다. 신너는 포토레지스트 스핀코팅 후 실리콘 웨이퍼 가장자리에 불필요한 이물질을 제거하는데 사용되는 소재다. 디벨로퍼는 일종의 현상액으로 일정 부위 포토레지스트(PR. Photo Resist)를 제거해 패턴을 형성하는데 사용된다.

와이씨켐은 EUV MOR 소재 2종을 양산해 올해 국내 첫 공급을 준비 중이다. 이로써 와이씨켐은 MOR 신너와 디벨로퍼의 개발 및 양산을 시작으로 다양한 EUV 관련 사업으로도 포트폴리오를 확대할 예정이다.

2001년 설립된 와이씨켐은 최첨단 반도체 소재 개발을 통해 2022년 코스닥 시장에 상장했다. 반도체 소재 공정용 포토레지스트와 린스, 스핀 온 카본(SOC), 습식 케미컬(Wet chemical), 화학적기계연마(CMP) 공정용 슬러리 등 다양한 소재 분야에서 기술을 확보한 기업이다.